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外延炉尾气净化器

643   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:13:38
本发明涉及一种废气处理装置,特别是涉及一种对EPI、PLOY或PECVD化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器,它具有初次洗涤室、二次洗涤室和填料室,初次洗涤室内装有大流量喷嘴喷淋装置,二次洗涤室内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置,壳体顶端装有进气口,进气口通过进气管道通入初次洗涤室下部,填料室顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置和排气口,排泄锥喷嘴喷淋装置下方装有圆锥形管口。本发明结构紧凑、制作成本低、设备能耗低、运行成本低,废气净化效率高,废气处理效果好,设备检修方便,维护停机时间短,设备正常运行时间长,工艺稳定性好,安全可靠。
声明：
“外延炉尾气净化器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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