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环保型六氟化硫/氮气混合气体分离回收装置及方法

1062   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:13:37
本发明公开一种环保型六氟化硫/氮气混合气体分离回收装置，其特征在于，包括压力监测模块、三通转换阀、直通阀组、增压阀组、高真空阀组、化学处理装置、混合气体分离装置和压缩回收装置；六氟化硫/氮气混合气体气室通过压力监测模块连接三通转换阀的入口，三通转换阀的第一出口通过增压阀组连接混合气体分离装置的入口，三通转换阀的第二出口通过直通阀组连接混合气体分离装置的入口，三通转换阀的第三出口通过高真空阀组连接混合气体分离装置的入口；混合气体分离装置的出口依次连接化学处理装置和压缩回收装置。整个分离回收过程全程无泄漏，又可以回收重复利用SF6气体，既满足环保要求，又可以降低生产成本。
声明：
“环保型六氟化硫/氮气混合气体分离回收装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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