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可即时补偿研磨曲面的控制系统

832   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:13:36
本发明为一种可即时补偿研磨曲面的控制系统,用于一化学机械研磨机台中,该化学机械研磨机台包含有至少一第一环状区域以及一第二环状区域,一设有一研磨垫的研磨平台,一至少包含有二分别对应于该第一、第二环状区域的内、外圈并用来承载一待研磨晶圆的晶圆载座设置于该研磨垫上方,以及一研磨液供应装置;该控制系统包含有至少一第一感测器以及一第二感测器,分别设置于该第一、第二环状区域上,以及一控制单元,用以依据该第一、第二感测器的信号以及一预设的程序来分别调整该第一、第二环状区域的研磨液供应量以及该晶圆载座的内、外圈的施力量;本控制系统可即时校正误差,进而得以更加精确地控制研磨均匀度,改善产品良率。
声明：
“可即时补偿研磨曲面的控制系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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