一种光波导双通道干涉仪阵列,由平面玻璃基板上制作的一对或多对平行三维单模玻璃光波导及其上方的覆盖层组成。为了使两平行波导不对称,覆盖层可以覆盖整个基板而使每对波导中的一条波导的局部区间暴露,也可以仅覆盖每对波导中的一条波导的局部区间而使其余部分暴露。由光源发出的单色光经端面耦合或棱镜耦合被同时输入任一对平行波导中,在两波导内激发横电基模或横磁基模。从两平行波导输出的光因发散而叠加,导致明暗条纹相间的干涉图形。通过光电探测器监测任一条纹的强度变化可以获得在两波导内传播的导模之间的位相差随时间的变化,从而可以获得在两波导上方发生的各种物理、化学变化,可广泛用于气体、化学和生物物质的实时探测。
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