本发明提供了一种透射电子显微镜样品结染色的方法,包括:切割样品的第一侧面至距离待测结侧向地距离第一预定厚度的SiO2的位置处;使用第一化学试剂去除第一侧面上剩余的全部SiO2;使用第二化学试剂去除待测结中的掺杂硅;完成透射电子显微镜样品的第二侧面的切割制备,形成透射电子显微镜样品薄片,其中离子束不直接切到Si,而侧向地保留距离待测结的第二预定厚度的SiO2。
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