一种过滤器的纯化系统,包含过滤器放置架、化学溶液供液系统、第一压力感测器、化学溶液排液系统、第二压力感测器及气泡感测器。过滤器放置架用以装载过滤器。化学溶液供液系统包含供液源、及第一管线连接供液源与过滤器放置架。第一压力感测器设于第一管线上,且配置以感测化学溶液在第一管线中的第一压力。化学溶液排液系统包含排液源、及第二管线连接过滤器放置架与排液源。第二压力感测器设于第二管线上,且配置以感测化学溶液在第二管线中的第二压力。气泡感测器设于第二管线上,且介于第二压力感测器与排液源之间。利用压力感测器与气泡感测器来监控过滤器的纯化结果,可达到节省纯化过滤器的化学溶液消耗量以及缩减纯化时间的功效。
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