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新型多晶硅碳头料的物理分离方法

902   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:13:36
一种新型多晶硅碳头料的物理分离方法,本发明涉及多晶硅的生产中多晶硅碳头料石墨部分与高纯硅的分离的物理方法。该方法包括多晶硅碳头料的破碎前处理、喷砂分离碳头料、分离后碳头料的DI水漂洗、DI水漂洗后碳头料的DI超声波水漂洗、DI超声波水漂洗后碳头料的化学清洗、分离得到碳头料的检查包装七个步骤。该方法的特点是:利用喷砂装置射出的高速磨料4直接作用于碳头料石墨部位5将石墨(石墨纸)5与高纯多晶2硅剥离;采用磨料4硬度与多晶硅5硬度相当,并选择合适的磨料粒度将处理过程中的损耗降至最低。相较原有化学腐蚀分离碳头料的方法,喷砂法安全可靠,不易燃不易爆;喷砂法一次即可将石墨完全剥离,有效节省人力物力;喷砂机磨料可重复使用,节约环保。
声明：
“新型多晶硅碳头料的物理分离方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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