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氢气传感器芯体

916   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-19 08:13:35
本实用新型公开了一种氢气传感器芯体，氢气传感器芯体依次包括基片、由非晶碳构成的介质层和氢气敏感层；非晶碳成分简单，化学性质稳定，特别适合制备高稳定性、长寿命的电子器件。本实用新型的氢气传感器芯体所制备的MOS电容薄膜氢气传感器能够检测到的氢气浓度下限达10ppm，而且响应时间和脱氢时间小于25s。
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“氢气传感器芯体” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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