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基于光学游标效应的法布里帕罗结构耦合腔传感芯片

822   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:13:35
本实用新型属于光学传感器技术领域，具体为一种基于光学游标效应的法布里帕罗结构耦合腔传感芯片。本实用新型的传感芯片包括三块平面反射镜以及两个方形石英微管；两块平面反射镜与两个方形石英微管中间形成传感腔；中间平面反射镜与下部平面反射镜形成参考腔；方形石英微管为中空结构，两端开口，可以与微流空系统结合；本实用新型可将传统法布里帕罗谐振腔传感芯片的灵敏度进行20‑40倍的放大，避免了传统法布里帕罗谐振腔传感器对高品质因子的需求，可以实现对于超低微量浓度、超小物理量的化学生物试剂的检测；此法布里帕罗结构耦合腔制作方便，操作简单，整体设计成本较低。
声明：
“基于光学游标效应的法布里帕罗结构耦合腔传感芯片” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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