合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 光刻对准标记

光刻对准标记

1137   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:11:54
本实用新型公开了一种光刻对准标记，通过设置位于衬底上的前层结构，该前层结构中形成有沿第一方向相互平行且间隔排列的第一对准标记；位于前层结构上的覆盖结构，该覆盖结构中形成有多个沿第二方向相互平行的条形开口，其中，第一方向与第二方向不同，条形开口的延伸方向与第一对准标记的延伸方向呈夹角，且条形开口与第一对准标记部分重叠，以使得条形开口与第一对准标记的重叠部分作为光刻对准标记。通过设置与第一对准标记延伸方向呈夹角的多个、较小开口宽度的条形开口，可以有效避免后制程中在光刻对准区域上沉积材料层形成凹陷，避免化学机械研磨中对对准标记的损坏，以及滤除非检测方向上的信号干扰。
声明：
“光刻对准标记” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：微流控技术电极离子迁移管
下一个：宫颈脱落细胞保存液瓶

与 “光刻对准标记” 相关技术

▪ 利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪ 钽铌冶炼废水的处理方法
▪ 利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪ 镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统
▪ 离子型稀土矿冶炼分离的预处理方法
▪ 炼化污水深度处理高效生物催化技术
▪ 勘测地质用探入式矿石分析仪
▪ 硫化铜镍矿矿石品位快速确定装置及其方法
▪ 深部矿产资源勘查分析装置
▪ 地质钻探取管装置及取管方法

相关化学分析设备推荐

河南土壤肥料养分测试仪/土肥仪生产厂家
土壤墒情半自动监测仪
（LQS）一体式半圆凿钻
抽真空热封机（抽真空充气热封机）wi120282
多气体检测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪钽铌冶炼废水的处理方法
▪利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统
▪离子型稀土矿冶炼分离的预处理方法
▪炼化污水深度处理高效生物催化技术
▪勘测地质用探入式矿石分析仪
▪硫化铜镍矿矿石品位快速确定装置及其方法
▪深部矿产资源勘查分析装置
▪地质钻探取管装置及取管方法

报名参会
更多+

2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:124
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:99
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:92
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:85
9 制样室装修设计技巧
下载:84
10 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记