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用于薄膜沉积的直接液体注射系统

767   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:11:53
提供一种用于将化学前驱物直接液体注射(DLI)到处理腔室中的方法和设备。DLI系统包括液体前驱物源汽化系统，所述系统稳定并且有效地使液体汽化。在一个实施方式中，DLI系统是闭环集成系统，所述闭环集成系统将注射阀(IV)连同液体流量计(LFM)、作为加压前驱物源的安瓿组件、用于加压安瓿组件中的前驱物的惰性推进气体、用于维持目标温度状况的温度控制器、泄漏检测和到气体加热器的受控载气流量进行组合。
声明：
“用于薄膜沉积的直接液体注射系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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