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吸附式碳纳米管湿度传感器及其制作方法

860   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:11:53
一种基于碳纳米管湿度传感器及制作方法,其包括:一基底;通过热氧化法或化学气相沉积法生长于基底表面上的绝缘层;通过光刻/刻蚀法或光刻/剥离法或丝网印刷法制备于绝缘层表面上的由金属或多晶硅构成的电极对;电极对为平行对电极或梳齿式对电极;梳齿式对电极的梳齿相对放置或梳齿交叉放置;电极对之间和电极对上/下面组装有碳纳米管材料层;组装方法为电泳组装方法或流体排布组装方法或浸泡蒸发法;有益效果:电极对制作属于标准微加工工艺或丝网印刷工艺,方法简单;碳纳米管结构尺寸小,比表面积大,吸附能力强,且电泳组装、流体组装方法或浸泡蒸发法可实现批量生产;该湿度传感器尺寸小,灵敏度高,线性度好,能用于环境湿度检测。
声明：
“吸附式碳纳米管湿度传感器及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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