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利用聚焦离子束加工纳米双极电极阵列的方法及用途

994   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:11:50
本发明涉及一种用聚焦离子束加工纳米双极电极阵列的方法，所述方法包括如下步骤：(1)在电极载体的一侧沉积10‑200nm的导电薄膜，之后采用聚焦离子束在沉积导电薄膜的对侧制备纳米孔阵列；(2)在步骤(1)所述纳米孔阵列中的孔洞内沉积电极材料，之后采用聚焦离子束对沉积电极材料的纳米孔阵列进行刻蚀，然后将步骤(1)沉积的导电薄膜去除，得到所述纳米双极电极阵列。本发明提供的纳米双极电极阵列的加工方法，可以增强其导电性，降低电荷累积现象，提高电子/离子束的成像分辨率。所述双电极阵列可以对细胞以及化学反应电信号的进行检测。
声明：
“利用聚焦离子束加工纳米双极电极阵列的方法及用途” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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