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基于纳米刻蚀的日盲紫外增透膜

756   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:11:49
本发明公开了一种基于纳米刻蚀的日盲紫外增透膜，属于薄膜技术领域，包括以下步骤：(1)选取紫外级熔石英(JGS1)作为基底；(2)基底清洗；(3)真空蒸发镀膜法镀第一层膜；(4)纳米刻蚀法优化第一层膜；(5)真空蒸发镀膜法镀第二层膜；(6)纳米刻蚀法优化第二层膜；(7)真空蒸发镀膜法镀第三层膜；(8)纳米刻蚀法优化第三层膜；(9)冷却后检验包装。本发明的日盲紫外增透膜选取适合紫外波段的氟化物，在真空蒸发镀膜法的基础上结合纳米刻蚀法，减小膜面缺陷密度，适合依赖整个紫外波段的探测器，具有优良的化学稳定性。
声明：
“基于纳米刻蚀的日盲紫外增透膜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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