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钨钼合金旋转靶材的生产方法

984   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:08:39
一种钨钼合金旋转靶材的生产方法，包括以下步骤：首先选取钨粉和钼粉并进行混料，混料完成后装入模具进行压制成坯，然后经烧结后脱模，形成粗品，制备的粗品经机械加工、退火处理、化学物理检测和超声清洗后形成靶材，配制钨钼喷涂粉末，将钨钼喷涂粉末喷涂到靶材的腔体内形成产品，本发明工艺简单，不仅大大了降低了旋转靶材的生产成本，而且制备的靶材具有组织均匀晶粒细小、高耐热冲击等优良性能，从而适用于大面积TFT薄膜的生产。
声明：
“钨钼合金旋转靶材的生产方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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