合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 基于SOI的垂直梳齿制造工艺

基于SOI的垂直梳齿制造工艺

1077   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:08:39
本发明公开了一种基于SOI的垂直梳齿制造工艺，SOI从下到上依次为衬底、绝缘层、Si层，步骤如下：(1)利用化学气相沉积工艺在Si层上沉积一层SiO2薄膜，(2)刻蚀SiO2薄膜，(3)采用物理气相沉积和剥离技术得到铝电极；(4)采用物理气相沉积和剥离技术得到Cr掩膜；(5)干刻，去除未被Cr掩膜覆盖的SiO2薄膜；(6)Si层第一次干刻；(7)去除Cr掩膜；(8)Si层第二次干刻；(9)绝缘层刻蚀，释放梳齿结构。采用简单工艺同时制造出等高和不等高垂直梳齿结构，可实现加速度计三轴方向特别是Z轴方向上加速度的检测。
声明：
“基于SOI的垂直梳齿制造工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：反应型汞离子荧光探针及制备方法和用途
下一个：用于味精工业淀粉车间的除臭方法

与 “基于SOI的垂直梳齿制造工艺” 相关技术

▪ 钢铁烟尘及有色金属冶炼渣资源化清洁利用新技术
▪ 镍基合金表面改性的渗剂及使用方法
▪ 硫化氢沉淀法应用于污酸处理新工艺
▪ 微细粒红磁混合型铁矿选矿技术
▪ 绿脉SGA砂状化与提产技术
▪ 提高氧化铝循环效率技术
▪ 冶金工业烟气脱硝脱二噁英技术
▪ 南方离子型稀土绿色高效分离关键技术
▪ 射频等离子体球化制粉技术
▪ 高端金属及化合物球形粉体等离子制备技术

相关化学分析设备推荐

全自动电容电感测试仪
GF-50DT金属分离机
H-HDD200直插式激光粉尘分析仪
湖北荆门南漳多气体检测仪
IST便携式多气体检测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪钢铁烟尘及有色金属冶炼渣资源化清洁利用新技术
▪镍基合金表面改性的渗剂及使用方法
▪硫化氢沉淀法应用于污酸处理新工艺
▪微细粒红磁混合型铁矿选矿技术
▪绿脉SGA砂状化与提产技术
▪提高氧化铝循环效率技术
▪冶金工业烟气脱硝脱二噁英技术
▪南方离子型稀土绿色高效分离关键技术
▪射频等离子体球化制粉技术
▪高端金属及化合物球形粉体等离子制备技术

报名参会
更多+

冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
2024年07月25日 ~ 27日
中国有色金属冶金第八届学术会议
中国有色金属冶金第八届学术会议
2024年07月26日 ~ 28日
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
2024年08月13日 ~ 15日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024年08月16日 ~ 18日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 浅谈检验检测风险防控管理及要点
下载:32
8 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
9 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
10 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记