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金属薄膜生长椭园偏振光谱实时监控方法

651   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:08:39
本发明涉及一种金属薄膜生长椭园偏振光谱实时监控方法。采用真空镀膜样品台和椭园偏振光谱实时监控系统一体化结构；将光钎偶合器、光钎准直系统、小孔光拦、步进电机、角编码器、起偏器、检偏器、光钎光谱仪等分别封装在左右两个密封盒里；采用光纤将复合光输入到其中一个上述密封盒里，再从出射小孔输出直线偏振光谱束，并按给定入射角入射到样品表面，经反射或透射到另一个上述密封盒里，对这种携带着薄膜信息的反射偏振光谱束或透射偏振光谱束实时探测并实时反馈到镀膜设备系统中进行实时监控。这种椭园偏振光谱实时监控方法适合于各种真空镀膜系统如磁控溅射镀膜系统和等离子体增强化学气相沉积镀膜系统等。
声明：
“金属薄膜生长椭园偏振光谱实时监控方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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