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高精度叉指电极、其制备方法和应用

911   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:31
本发明提供了一种高精度叉指电极、其制备方法和应用。本发明采用半导体薄膜工艺，采用磁控溅射方式在绝缘基体上加工金属薄膜，光刻叉指电极线路图案，显影曝光形成图形线路，蚀刻底层形成电极线路；去胶膜后即得所述高精度叉指电极。高精度叉指电极线宽线距为1～40μm，拥有导电内层和反应层，可用于生物分子检测，具体可用于制备电化学免疫传感器。
声明：
“高精度叉指电极、其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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