多级纯化器的过滤装置,包括一个机体(1),在机体(1)上设置设定模块(2)、一级纯化模块(3)、二级纯化模块(4)、制冷模块(5)、传输模块(6)、管理模块(7),运行时,设定模块(2)设定作业所需的压力和温度,一级纯化模块(3)运用物理吸附方法来纯化气体,二级纯化模块(4)运用化学方法来纯化气体,管理模块(7)将感应到的各种信息进行综合处理;设置温度感应模块(8),感应作业时温度是否达到标准;设置压力感应模块(10),感应多级纯化器作业时压力是否达到标准;提示模块(9),当检测到纯化器作业时压力异常或者温度异常时发出提示。
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