本发明公开了一种激光内腔双光谱石英增强型痕量气体传感系统及方法,所述一种激光内腔双光谱石英增强型痕量气体传感系统包括激光装置、气体传感器和输出装置,气体传感器具有进气孔和出气孔,内部设置音叉,音叉的两叉臂中间左侧设置第一准直器,右侧设置第二准直器,音叉的叉底右侧设置第三准直器,左侧设置第四准直器,音叉的叉底通过化学蚀刻去除金属薄膜,第一准直器和第四准直器皆与激光装置相连,第二准直器通过光纤连接第三准直器,气体传感器的输出端连接输出装置,第一准直器与音叉之间设置声波增强结构,第二准直器与音叉之间设置声波增强结构,本发明结构简单合理,可进一步提高气体的检测精度。
声明:
“激光内腔双光谱石英增强型痕量气体传感系统及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)