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透光性改进的浇注型聚氨酯弹性体制造方法及其作为抛光垫窗口材料的应用

1002   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:31
本发明涉及一种浇注型聚氨酯弹性体的制造方法，该法包含了特定的浇铸和成型工艺条件等，具体是先形成包含端异氰酸酯基聚氨酯预聚物、二胺类扩链剂和含氟烃类化合物的浇注混合物，然后使浇注混合物在特定温度条件下停留一段时间，最后进行固化；借由该法制得的聚氨酯弹性体材料，在不损失诸如硬度和储能模量等力学性能的前提下，具有改进的透光性能；可以用作诸如化学机械抛光(CMP)过程中的光学终点检测材料等的用途。
声明：
“透光性改进的浇注型聚氨酯弹性体制造方法及其作为抛光垫窗口材料的应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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