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太阳能硅片切割工艺

826   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:31
本发明公开了一种太阳能硅片切割工艺,其包括以下步骤:A、将碳化硅与DEG切割液按照重量比1:0.9-1:1.2的范围加入配置罐内进行搅拌至少三个小时,搅拌持续要砂浆用完为止:B、将配置好的砂浆加入多线切割机的浆料罐中,利用多线切割机对硅棒进行切割,在切割时利用冷却水先对砂浆冷却到18-20℃之间,然后再加入硅棒切割位置;C、将切割好的硅片利用清洁水进行预清洗;D、将预清洗后的硅片放入到清洗机中进行再次清洗,清洗时添加清洗剂去除DEG切割液残留和其他杂质;E、对硅片进行检测后包装。该切割工艺利用DEG切割液与碳化硅混合成砂浆进行切片,无需对碳化硅进行烘烤,避免抱团现象,同时便于清洗,减少清洁水和化学清洗液的用量。
声明:
“太阳能硅片切割工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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