一种Pd修饰ZnO纳米棒阵列的制备及其应用,涉及气敏材料及其应用,本发明采用低温化学合成方法,以硝酸锌、氯化钯为原料,尿素为辅助助剂,在基底表面直接制备出整齐均匀、垂直生长的Pd修饰ZnO纳米棒阵列,整个生产过程简单易行、高效、节能,适于规模化生产。使用本发明制备得到的Pd修饰ZnO纳米棒阵列检测丙酮气体,具有灵敏度高、响应‑恢复时间快,且选择性和稳定性好等优点。同时,本发明采用的气体传感器制作成本低廉、工艺简单、可精确控制敏感薄膜的厚度及敏感材料的形貌、解决了敏感材料在加热的情况下从电极表面脱落的问题,适于器件的批量化生产,在制造气体传感器方面有广阔的应用前景。
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