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合金集流体的高通量筛选方法

998   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:30
一种合金集流体的高通量筛选方法，包括如下步骤：提供一基片以及至少两种可形成合金的单质元素靶材，该基片上包括多个样品区；按照预设样品靶材沉积比例，通过磁控溅射镀膜技术，在每个样品区同时制备包括同样种类单质元素的交替沉积的薄膜前驱体，每个样品区中相同层薄膜为同一种单质元素，但元素沉积量不同；同时热处理多个样品区的多个多层薄膜前驱体，以获得多个合金相样品；检测样品相关物理化学性质，得到每个样品对应性质数据；将每个样品区的样品元素比例、制备条件数据与性质数据相关联，以形成样品数据库；按照预定标准通过数据库进行样品数据筛选。上述方法可短时间内筛选出所需的合金集流体数据。
声明：
“合金集流体的高通量筛选方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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