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发射尖端、热场发射电子源及制作方法

641   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:29
本发明提供了一种发射尖端、热场发射电子源及制作方法，属于电子束成像检测领域，本发明提供的发射尖端包括本体部和延伸部；所述延伸部的一端与所述本体部轴向连接，另一端朝向远离所述本体部的方向轴向延伸，且存在一逐渐缩小的第一连接部；延伸部的任一轴截面均为一对相对设置的至少一对内凹弧形结构，且所述延伸部的侧壁环设有至少一圈凹槽部。本发明还提供了一种包括该发射尖端的热场发射电子源及制作方法。本发明提供的发射尖端和热场发射电子源，凹槽部和内凹弧形结构相互配合，更加优化了高压电场在尖端的分布，改善了轮廓表面的物理化学特性，获得了更高的亮度、更小的总发射电流以及更高的稳定性。
声明：
“发射尖端、热场发射电子源及制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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