本发明公开了一种湿制程制作
镍合金精密零部件的方法,包括以下步骤,S1:基板研磨、S2:贴膜、S3:曝光、S4:显影、S5:微合金沉积、S6:脱模和超声波清洗、S7:检测组装;从半导体湿制程蚀刻工艺反相创新,结合干膜等湿制程以及MEMS镍合金化学增材技术,通过曝光,显影、微电铸等复杂工艺来生产具有复杂图形的高精密零部件;本发明可以快速、低成本获得具有复杂图形、尺寸精密的二维或三维金属零部件,在钟表机械零件、微电子、航空航天、传感器等领域应用很广,具有巨大的市场需求。
声明:
“湿制程制作镍合金精密零部件的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)