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用于TFT-LCD显示屏用ITO蚀刻液及制备方法

987   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:27
本发明涉及湿电子化学品技术领域，且公开了一种用于TFT‑LCD显示屏用ITO蚀刻液，包括以下按重量百分比计的组分：硫酸10％‑20％，添加剂1％‑5％，表面活性剂0.05％‑0.5％，消泡剂0.01％‑0.1％，余量水，所述添加剂为无机盐和有机物的混合物；本发明所公开的蚀刻液以硫酸为主要成分，生产工艺简单，酸浓度易于控制及在线检测；增加了表面活性剂具有表面张力低、无浊点、湿润力强，有效降低ITO蚀刻液的表面张力，蚀刻过程中速率适中；消泡剂能消除蚀刻过程中表面活性剂产生的泡沫，满足ITO膜蚀刻高精度加工要求，对光阻无破坏作用，对蚀刻线条保护好，图形完整；同时采用的无机盐可以调控蚀刻后ITO斜面坡度，以更好满足客户需求。
声明：
“用于TFT-LCD显示屏用ITO蚀刻液及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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