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光刻对准标记、光刻对准方法以及半导体器件制备方法

1035   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:05
本发明公开了一种光刻对准标记、光刻对准方法以及半导体器件制备方法，通过设置位于衬底上的前层结构，该前层结构中形成有沿第一方向相互平行且间隔排列的第一对准标记；位于前层结构上的覆盖结构，该覆盖结构中形成有多个沿第二方向相互平行的条形开口，其中，第一方向与第二方向不同，条形开口的延伸方向与第一对准标记的延伸方向呈夹角，且条形开口与第一对准标记部分重叠，以使得条形开口与第一对准标记的重叠部分作为光刻对准标记。通过设置与第一对准标记延伸方向呈夹角的多个、较小开口宽度的条形开口，可以有效避免后制程中在光刻对准区域上沉积材料层形成凹陷，避免化学机械研磨中对对准标记的损坏，以及滤除非检测方向上的信号干扰。
声明：
“光刻对准标记、光刻对准方法以及半导体器件制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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