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陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法

896   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:04
一种陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法，本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法。本发明是为了解决陶瓷异质材料上石墨烯CVD生长、修饰困难和传感器结构尺寸大的问题。本发明采用MEMS工艺技术在陶瓷异质材料基片制作传感器加热电阻和信号输出电极，采用PVD技术在基片上制作石墨烯生长的种子层，用CVD技术实现石墨烯在种子层上的生长，用化学修饰手段实现对石墨的功能化修饰，完成石墨烯气体传感器的制备。本发明的传感器具有性能高、尺寸小的特点，通过传感单元的阵列化集成用于多种气体浓度同时检测。
声明：
“陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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