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坩埚及其制备方法

823   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:04
本发明公开了一种新型碳/碳复合材料的坩埚，包括碳/碳复合材料基体的坩埚，还包括涂于坩埚基体上的SiC涂层和Si3N4涂层。由于这种坩埚具备了石墨坩埚和石英坩埚两者的优点，所以可以用于替代目前单晶硅拉制炉所用的石英坩埚和石墨坩埚的组合设备，并且可以减少由于上述两种坩埚由于膨胀系数不同而造成的石墨坩埚开裂现象。同时本发明还公开了制备上述坩埚的方法包括如附图1所述的步骤：制作坩埚预制体、化学气相沉淀致密、树脂浸渍碳化致密、热等静压沥青浸渍碳化致密、坩埚制品密度检测、Si3N4涂层制备，由此方法制备的新型坩埚由于涂料与基体为一体所以具有使用方便，可以重复使用寿命长的特点。
声明：
“坩埚及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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