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阵列式窄带滤光片及其制备方法

1070   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:04
本发明涉及一种阵列式窄带滤光片，包括基底和相互杂化嵌套在基底上的第一光栅和第二光栅，第一光栅和第二光栅构成等离激元复合光栅，等离激元复合光栅周期为第一光栅和第二光栅的宽度之和；第一光栅沿着基底由下而上依次包括底部金属层、介质层、顶部金属层，第二光栅沿着基底由下而上依次包括介质层、顶部金属层，本发明的滤光片解决了现有等离激元滤光片高透射和窄线宽难以兼顾和较差带外抑制的问题；本发明还提供了一种阵列式窄带宽滤光片制备方法，利用该制备方法制备的滤光片具有低成本，窄线宽，弱旁峰和小型化等优异特性，在生物化学传感、气焰检测、多光谱成像等方面具有极高的应用前景和价值。
声明：
“阵列式窄带滤光片及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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