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多孔硅纳米线NO2气体传感器的制备方法

937   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:03
本发明公开了属于气体传感器技术领域的一种多孔硅纳米线NO2气体传感器的制备方法。该方法首先利用金属银催化化学腐蚀,在硅片表面制备出多孔硅纳米线,再通过金属盐溶液浸泡或者磁控溅射的方法,在多孔硅纳米线表面修饰一层Ag纳米颗粒,得到的薄膜样品接上Ag电极和Ag导线后,可作为检测NO2气体的气敏传感器。在一定的电压下,当气体环境中通入NO2时,传感器的电阻值明显下降;去除NO2气体重新通入空气后,传感器的电阻值可以回升。本方法制备的NO2气敏传感器具有灵敏度高,成本低,环境稳定性好的特点,在NO2气体中器件的电阻值变化可达30%以上,具有实际应用的价值。
声明:
“多孔硅纳米线NO2气体传感器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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