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多孔硅纳米线NO2气体传感器的制备方法

995   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:03
本发明公开了属于气体传感器技术领域的一种多孔硅纳米线NO2气体传感器的制备方法。该方法首先利用金属银催化化学腐蚀，在硅片表面制备出多孔硅纳米线，再通过金属盐溶液浸泡或者磁控溅射的方法，在多孔硅纳米线表面修饰一层Ag纳米颗粒，得到的薄膜样品接上Ag电极和Ag导线后，可作为检测NO2气体的气敏传感器。在一定的电压下，当气体环境中通入NO2时，传感器的电阻值明显下降；去除NO2气体重新通入空气后，传感器的电阻值可以回升。本方法制备的NO2气敏传感器具有灵敏度高，成本低，环境稳定性好的特点，在NO2气体中器件的电阻值变化可达30％以上，具有实际应用的价值。
声明：
“多孔硅纳米线NO2气体传感器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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