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在衬底上制备生长位置精确可控的ZnO纳米/微米棒晶的方法

684   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:03
微纳结构的ZnO晶体材料由于其独特的结构和性能,体现出了特殊的应用潜力,近年在电子器件、光电子器件、化学传感、生物发电以及紫外检测等领域取得了重要应用。本发明提供了一种在衬底上制备生长位置精确可控的ZnO纳米/微米棒晶的方法。本发明首先在衬底上预修饰ZnO籽晶层,然后在衬底上制作图形尺寸在2μm以下的光刻胶层做模板层,之后使用含有柠檬酸钠和聚乙醇胺这两种不同生长修饰剂的前躯体溶液合成ZnO微纳棒晶,最终成功地在预修饰籽晶层的单晶、多晶或者无定形衬底上制备出了生长位置精确控制的ZnO纳米/微米棒晶。本发明实现了ZnO微纳晶体材料在衬底上的位置控制,是实现ZnO微纳晶体材料的器件化产业应用的必要步骤。
声明：
“在衬底上制备生长位置精确可控的ZnO纳米/微米棒晶的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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