本实用新型提供一种氦气回收提纯装置,该装置包括:过滤器;化学吸附装置;组分分析装置;加气罐;加热器;催化系统;冷却器;第一净化系统;粗氦冷却器;精馏塔塔;第二净化系统;以及氦气储罐。采用本实用新型的氦气回收提纯装置,能够用于回收含有氦气的工业废气,将氦气的纯度提高,也可以深入提纯得到纯氦、高纯氦和超纯氦产品。相对于现有技术,采用本实用新型的氦气回收提纯装置具有成本较低、环保高效且适用范围较广的优点。
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