本实用新型属于高纯气体纯化领域,尤其是涉及一种超高纯氙、氪纯化系统。采用纯化系统包括原料气钢瓶,原料气钢瓶中存储有原料气,原料气钢瓶连接加热室,加热室外设有保温层,保温层外设有加热层,加热室连接催化室底部,催化室内有催化剂,催化室连接吸附室,吸附室内设有第一隔板,将吸附室隔成迷宫状通道,吸附室内设有吸附剂,吸附室连接吸气室,吸气室内设有金属吸气室,吸气室内设有第二隔板,将吸气室隔成迷宫状通道,吸气室连接分析仪,各部件之间通过带有阀门的气流管路连接,本实用新型结合催化氧化、化学反应、物理吸附三种原理,深度纯化原料气体,除去氙、氪气体中的C5以上烃类组分及氟化物,达到超高纯级别,满足电推进用氙、氪的技术要求。
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