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用于移除MEMS芯片Cap的移除装置

1050   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:01
一种用于移除MEMS芯片Cap的移除装置，MEMS芯片包括位于其底部的基板、设置在基板上的MEMS元件和ASIC以及通过黏合剂粘合到基板上的MEMS Cap，其中，MEMS元件和ASIC位于基板和MEMS Cap之间，移除装置包括加热器和吹风器，加热器置于吹风器的吹风口位置，通过吹风器的吹风将所述加热器的加热温度传输至MEMS芯片的黏合剂位置。本实用新型通过加热与风力相结合的方式，来热熔用于粘合MEMS Cap和基板的黏合剂，进而使得MEMS芯片在移除Cap的过程中不接触腐蚀性化学试剂且不产生机械碰撞，有效防止了MEMS元件的损伤，提高了MEMS芯片样品的良率及后期分析的准确性。
声明：
“用于移除MEMS芯片Cap的移除装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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