本发明涉及纳米操作领域,公开一种面向ZnO压电传感器制造的介电泳装配方法。将酒精分析纯溶液与ZnO混合,经超声振荡和脉冲后,实现ZnO有效分散,即完成预处理。再利用介电泳技术实现对ZnO在微电极上的有效可控装配。本发明提出的方法,对ZnO所具有的物理、化学性质不会产生任何破坏,可操作性与可重复性强,为ZnO压电传感器的制造提供了新的可行技术途径。
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