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电容放电等离子体离子源

1109   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:01:28
在用于化学分析的系统(10)中,包括一对隔开的并且被等离子体绝缘的电极(14,16)、电极(14,16)的射频驱动的等离子体电离器件(11)被接到电源(22)上,其中电极(14,16)起谐振电路(22c)的电容器极板的作用,气体(S)放电并形成阳离子和阴离子两者的等离子体,而电压是作为连续的交变波形或作为一系列脉冲(例如,分组波形)加上去的。
声明：
“电容放电等离子体离子源” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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