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光驱动微流体泵

753   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:01:27
本发明涉及一种光驱动微流体泵，在光能和机械能之间转换，由下往上依次包括出入口层、泵腔层、微线栅阵列驱动单元和基片；出入口层设有入口和出口；泵腔层包括泵腔和可形变的振膜；微线栅阵列驱动单元包括周期为百纳米级的微线栅阵列，微线栅阵列由栅脊和栅谷构成且为形状记忆材料偶氮苯液晶弹性体。本发明周期性的改变照射光种类和光强，可精确控制微流体泵泵腔容积周期性的变化，从而产生连续的差量流动。具有响应速度快、工作频率高、能耗小、驱动量大等优点；可精确控制流量，能够应用在细胞分离、流体微量配给、药物微量注射、微量化学分析等领域；器件制造可采用MEMS加工工艺，与IC制造工艺兼容，适合批量生产。
声明：
“光驱动微流体泵” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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