本发明公开了一种Ta/Ni微腔阵列薄膜,包括导电衬底,所述导电衬底上设有Ni层,所述Ni层上设有Ta层;所述Ni层上设有多个有序排列的碗状孔,碗状孔开口朝上;所述Ta层具有碗状壳和设于碗状壳顶部的顶盖,碗状壳和顶盖合围形成微腔,所述碗状壳与碗状孔相对应,所述顶盖中部设有圆孔。还公开了一种Ta/Ni微腔阵列薄膜的制备方法,采用电解法在导电衬底上制得Ni层,采用磁控溅射法在Ni层上制得具有微腔结构的Ta层。Ta层的微腔结构有利于实现微溶液的存储和限域反应,增加薄膜的比表面积,有利于提高
电化学分析时的灵敏度,制备方法工艺简单,成本低,生产效率高。
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