本发明公开了一种掺镧锆钛酸铅薄膜的制备方法。本发明以分析纯的硝酸铅,氧氯化锆、硝酸镧和四氯化钛为反应原料,以纯乙二醇甲醚作溶剂。计算各原料时按照(Pb(1-x)/100Lax/100)(Zr(1-y)/100100Tiy/100)(1-x/4)/100O3,x取8~10,y=35作计算依据,严格按照化学计量计算各原料的添加量(为防止铅在退火过程中挥发,配料时铅过量10%)制得镧掺杂锆钛酸铅前驱液;然后通过匀胶工艺制得镧掺杂锆钛酸铅薄膜,最后通过快速热处理工艺制得在具有铟锡氧化物涂层(ITO)玻璃基片上电光性能优越的镧掺杂锆钛酸铅薄膜。本发明效率高且易控制。
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