合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 纳米薄膜的原子层沉积定量建模方法

纳米薄膜的原子层沉积定量建模方法

873   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:57:12
本发明公开了一种纳米薄膜的原子层沉积工艺的定量建模方法,该建模方法以流体动力学理论为基础,包括以下步骤:(1)构建原子层沉积工艺进行的流体域结构模型;(2)初始边界条件设置;(3)有机金属化合物的理化属性计算;(4)多组分的气质传输过程设置;(5)表面化学反应设置;(6)瞬态脉冲工艺过程设置;(7)瞬态吹洗工艺过程设置;(8)获取定量反应和表面薄膜生长速率。按照本发明的建模方法,可定量描述表面沉积过程中的物质消耗和薄膜生长,适合用于材料利用率和薄膜沉积效率等相关因素分析,而该建模方法针对于原子层沉积工艺特征可普适于不同结构的原子层沉积系统。
声明:
“纳米薄膜的原子层沉积定量建模方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
化学分析
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记