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图案化电极及其制备方法和应用

889   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:57:12
本发明公开了一种图案化电极及其制备方法和应用，该方法包括以下步骤：取芯片，芯片包括导电基板、光刻胶和第二基板，第二基板靠近光刻胶的一侧表面上设置有图案化流道，图案化流道包括第一流道，第一流道具有第一开口和第二开口，在第一流道上形成第二流道，第一流道与第二流道形成连通的闭环通道，闭环通道内设置有第三流道，第三流道的一端开口设置于闭环通道内，第三流道的另一端连通闭环通道；从第一开口或第二开口注入不透光液体，光照使得光刻胶固化，去除未固化的光刻胶；关闭第三流道的一端开口，从第一开口或第二开口注入腐蚀液，然后清洗掉腐蚀液。本发明能够利用空气表面张力保护实现任意形状电极的制备，可以用于电化学分析领域。
声明：
“图案化电极及其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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