本发明涉及一种激光薄膜元件用光学基板的清洗方法,具体步骤为:用蘸有丙酮的棉签擦拭光学基板,直至在白炽灯照射下基板表面无肉眼可见的污染物为止;将擦拭后的基板置于第一槽碱性溶液,分别用不同频率对基板先后进超声清洗;将所得基板放置于第二槽中,用去离子水喷淋;将基板放置于第三槽去离子水中,分别在不同频率下先后超声3~6分钟,在白炽灯下观测基板表面洁净度,无肉眼可见颗粒后将基板放置于第四槽去离子水中在80KHz超声下进行慢提拉,用热吹风将提拉后的基板干燥,即得到所需产品。本发明将清洗过程与表面检测结合起来,将擦拭法、化学清洗法、超声波清洗法结合起来综合运用,以达到清洗效率高而又对基板光滑表面损伤小的最优清洗效果。
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