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透明喷墨头的基于MEMS及印刷工艺的制备方法

1021   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:57:09
本发明公开了一种透明喷墨头的基于MEMS及印刷工艺的制备方法，喷墨头前端包括墨水腔板和喷嘴板，墨水腔板和喷嘴板均采用玻璃晶圆制成，透明喷墨头的制备包括以下步骤：S1、在墨水腔板的玻璃晶圆上蒸镀下电极，利用丝网印刷工艺按照电极图案印刷压电陶瓷层；S2、在压电陶瓷层上继续印刷上电极；S3、通过半导体键合工艺将墨水腔板和喷嘴板键合在一起；S4、在压电陶瓷极化仪中将压电陶瓷层中的压电陶瓷极化。本发明使喷墨头的内部结构被直观观察，减少喷墨头的故障检测步骤和检修维护成本，喷嘴板固定稳固同时适应于多种墨水成分，还能简化压电驱动端的制备工艺、减少化学品的使用以及降低压电驱动端的制备成本，以满足生产及环保需求。
声明：
“透明喷墨头的基于MEMS及印刷工艺的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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