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激光干涉仪光程差定位方法及系统

718   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:55:19
本发明公开了一种结构简单、紧凑的光路折叠激光干涉仪系统，用于傅里叶变换光谱仪动镜、定镜两路光程差精确定位。通过采用空间上布局紧凑的角锥回射器和反射镜组合，激光干涉仪的动臂光路被折叠4次，干涉仪产生的干涉图样周期缩短4倍。通过过零点检测电路的光电转换，可产生小于100纳米的等光程差间隔脉冲信号，用于触发傅里叶变换光谱仪的探测器对待测信号干涉图样的采样。本发明提出的激光干涉仪系统不仅可以将傅里叶变换光谱仪的工作光谱范围向短波段拓展至近紫外(~350纳米)，还同时保持了傅里叶变换光谱仪的高测量精度(Connes)优点。据此实现的紫外-可见光傅里叶变换光谱仪可在化学、生物、医药、材料、光学等诸多领域得到广泛应用。
声明：
“激光干涉仪光程差定位方法及系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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