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晶圆表面金属离子收集装置

605   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:55:18
本实用新型提供了一种晶圆表面金属离子收集装置，所述装置包括晶圆固定单元和扫描单元，所述晶圆固定单元用于固定晶圆，所述扫描单元用于对所述晶圆的下表面接触扫描，所述扫描单元位于所述晶圆固定单元下方。通过将金属收集溶液扫描单元设置在晶圆的下方，避免了金属收集溶液在晶圆表面呈摊开状或在扫描过程中扫描管拖不住金属收集溶液的情况，提高了检测亲水性晶圆表面金属收集的成功率；所述晶圆表面朝下，避免了FFU吹下污染物到晶圆表面上，避免了检测结果不准确；所述扫描单元还连接有在线配置金属收集溶液，可以减少人为配置中的金属收集溶液的污染，无需人员接触化学品，提高了安全性。
声明：
“晶圆表面金属离子收集装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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