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喷墨打印制备二氧化锡基薄膜型气敏器件的方法

758   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:55:16
本发明涉及一种利用喷墨打印技术制造以二氧 化锡为基薄膜型气敏器件的方法，属于金属氧化物半导体传感 器气敏元件制造工艺技术领域。该方法包括以下几个步骤：(1) 制备不同掺杂物质的SnO2基前 驱溶液墨水；(2)进行打印镀膜，制得各种不同掺杂的 SnO2基薄膜；(3)进行烧结热处 理，得到不同掺杂的SnO2基薄 膜型气敏元件；(4)将制得的 SnO2气敏元件装入气敏检测仪， 检测对乙醇、H2S、 H2、丙酮等多种易燃易爆、有毒 有害气体的灵敏度。本发明利用喷墨打印技术简单易操作控制 的特点，可方便快速的成型多种不同掺杂成分、不同厚度的 SnO2基薄膜气敏元件，避免了用 常规的化学或物理气相沉积成膜所需要的复杂工艺或昂贵设 备。
声明：
“喷墨打印制备二氧化锡基薄膜型气敏器件的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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