本发明涉及一种利用喷墨打印技术制造以二氧 化锡为基薄膜型气敏器件的方法,属于金属氧化物半导体传感 器气敏元件制造工艺技术领域。该方法包括以下几个步骤:(1) 制备不同掺杂物质的SnO2基前 驱溶液墨水;(2)进行打印镀膜,制得各种不同掺杂的 SnO2基薄膜;(3)进行烧结热处 理,得到不同掺杂的SnO2基薄 膜型气敏元件;(4)将制得的 SnO2气敏元件装入气敏
检测仪, 检测对乙醇、H2S、 H2、丙酮等多种易燃易爆、有毒 有害气体的灵敏度。本发明利用喷墨打印技术简单易操作控制 的特点,可方便快速的成型多种不同掺杂成分、不同厚度的 SnO2基薄膜气敏元件,避免了用 常规的化学或物理气相沉积成膜所需要的复杂工艺或昂贵设 备。
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