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LPCVD工艺用石英制品制造丘陵状表面的方法

715   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:54:11
本发明属于光伏行业用石英部件表面处理的技术领域，尤其涉及一种LPCVD工艺用石英制品制造丘陵状表面的方法。本发明的制备方法包括准备石英制品、清洗石英制品表面、配制酸性化学溶液、化学蚀刻、清洗石英制品表面、干燥、粗糙度检测等步骤。本发明制备的LPCVD工艺的石英制品其表面丘陵状均匀，提高了硅化合物对石英制品的附着性，同时不会引起沉积在石英制品上的硅化合物的剥离，减少颗粒污染，并且延长石英制品使用寿命，满足光伏行业需求。
声明：
“LPCVD工艺用石英制品制造丘陵状表面的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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