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带焊球面阵列四面扁平无引脚封装件制备方法

764   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:54:11
一种带焊球面阵列四面扁平无引脚封装件制备方法，晶圆减薄划片；裸铜框架正面贴干膜；形成凹槽，裸铜框架刻出第三凹槽和引脚槽；涂第一钝化层，第三凹槽底面的第一钝化层刻UBM1窗口、镀UBM1层；倒装芯片，芯片凸点与UBM1层接触，下填充；塑封框架正面；磨削框架背面涂第二钝化层，刻出第五凹槽，引脚底面涂第三钝化层，刻出第六凹槽，第三钝化层化学镀铜层，刻出第七凹槽；铜层涂第四钝化层，刻出UBM2窗口；化学沉积UBM2层；回流焊形成锡球；包封后固化第四钝化层；打印分离检测，得带焊球面阵列四面扁平无引脚封装件。该制备方法保证UBM性能质量，可以代替部分基板生产CSP封装器件，降低生产成本，缩短研发周期。
声明：
“带焊球面阵列四面扁平无引脚封装件制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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